編程分辨率是指程序中可以設定的最小距離單位，又稱為基準分辨率。例如，當電動機旋轉0.1°，機器人腕點(手臂尖端點)移動的直線距離為0.01 mm時，其基準分辨率為 0.01 mm。
控制分辨率是位置反饋回路能夠檢測到的最小位移量Harmonic達芬奇精密手術用諧波減速機CSF-58-100。例如，若每周（轉）1 000個脈沖的增量式編碼盤與電動機同軸安裝，則電動機每旋轉0.36°(360°，1 000 r/min)，編碼盤就發出一個脈沖，0.36°以下的角度變化無法檢測，則該系統的控制分辨率為0.36°。顯然，當編程分辨率與控制分辨率相等時，系統性能高。
控制算法誤差主要指算法能否得到直接解和算法在計算機內的運算字長所造成的比特(bit)誤差。因為16位以上CPU進行浮點運算時，精度可達到82位以上，所以比特誤差與機構誤差相比基本可以忽略不計。