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外部空氣由管道經(jīng)過(guò)防爆裝置進(jìn)入降壓段，降低風(fēng)速后進(jìn)入等離子段，和中性粒子組成。等離子分為平衡等離子和非平衡等離子，低溫等離子體主要由氣體放電產(chǎn)生氣體經(jīng)過(guò)等離子氣體凈化裝置的反應(yīng)器區(qū)域時(shí)，等子體中的活性自由基可以有效的破壞各種病毒、組菌中的核酸，蛋白質(zhì)，使其不能進(jìn)行正常的代謝和生物合成，從而導(dǎo)致其死亡。在高能電子和自由基強(qiáng)氧化等多重作用下，氣體中的有機(jī)物分子鏈被斷開(kāi)，發(fā)生一系列復(fù)雜的氧化還原反應(yīng)，生產(chǎn)C02，H20等無(wú)害物質(zhì)，正負(fù)離子可以清新空氣。另外，借助等離子體中的離子與物體的凝并作用，可以對(duì)小至亞微米級(jí)的細(xì)微顆粒物（0.1-3微米）進(jìn)行有效的收集。在經(jīng)過(guò)光氧催化段，進(jìn)行氧化還原反應(yīng)，利用特制的高能高臭UV紫外線(xiàn)光束照射廢氣，裂解工業(yè)廢氣，臭氧是一種強(qiáng)氧化劑，也是世界公認(rèn)的光譜高效殺菌消毒劑。臭氧比氧分子多了一個(gè)活躍的氧原子，化學(xué)性質(zhì)特別活躍。其強(qiáng)大氧化性，既可以氧化分解有機(jī)物，也可以分解無(wú)機(jī)物，對(duì)主要臭氧氨、C3H9N、甲苯、二甲苯、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯都可以裂解。在臭氧的作用下，這些有機(jī)污染物由大分子物質(zhì)被分解為小分子物質(zhì)，沒(méi)有任何有毒殘留，不會(huì)形成二次污染，被譽(yù)為“最清潔的氧化劑和消毒劑”，在特定波長(zhǎng)的高能UV紫外線(xiàn)的照射下產(chǎn)生催化作用，使周?chē)�的水分子及空氣激發(fā)生成ji具活性的自由基、臭氧等。這些基團(tuán)氧化能力很強(qiáng)，能裂解氧化廢氣中揮發(fā)性有機(jī)物質(zhì)分子鏈，改變物質(zhì)結(jié)構(gòu)，將高分子污染物質(zhì)裂解、氧化為低分子無(wú)害物質(zhì)，其去除效率可99%。

低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過(guò)某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來(lái)，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱(chēng)為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱(chēng)為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理最新的一種原理。