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商品詳情
渦輪分子泵特點：
?無油的超真空環境
?機械式的氣體分子排氣(動態排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。（～10-10Pa）
產品優勢：
■將電源控制器與分子泵一體化
■省電設計
■輕巧設計
■對應防護等級IP54
■多種通信接口
■對應國際規格
CE/NRTL/SEMI-S2
應用場合：
?半導體制造設備
?FPD制造設備
?太陽能電池制造設備
?玻璃/鏡片等光學元件加工
?薄膜加工
?加速器/宇宙環境模擬設備
技術參數：
| 型號 | TGkine3300M | TGkine3300M-40 | TGkine3400M | |
| 吸氣口法蘭 |
VG300 ISO-B320 |
VG300 ISO-B320 |
VG350 | |
| 排氣口法蘭 | KF40/KF50 | |||
| 排氣速度 | N2(L/s) | 3300 | ||
| N2(附帶金屬防護網) (L/s) | 3100 | |||
| H2(L/s) | 2700 | |||
| 最大壓縮比 | N2 | >1×108 | ||
| H2 | 3×103 | |||
| 極限壓力 | VG?ISO-B(Pa) | <2×10-7 | ||
| VG?ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |||
| 最大氣體流量 | N2 (sccm) | 2100 | 4000 | 2100 |
| 啟動時間 | (min) | ≦11 | ||
| 停止時間 | (min) | ≦13 | ||
| 允許輔助壓力 | (Pa/Torr) | 170/1.28※1 | ||
| 推薦輔助泵 | (L/min) | ≧2000 | ||
| 輸入電壓 | (V) |
AC200-240V -15%+10% |
||
| 相數 | 單相 | |||
| 頻率 | (Hz) | 50/60 | ||
| 電流 | (A) | Max. 5.3 | ||
| 所需電力 | (kVA) | Max. 0.9 | ||
|
通信接口 （規格可選） |
Parallel I/O, RS232C, RS485, Profibus, DeviceNet | |||
| 防護等級 | IP54 | |||
| 安裝角度 | 任意 | |||
| 重量 | VG?ISO-B（kg） | 69 | ||
| 控制器型號 | 控制器與分子泵一體型 | |||
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特殊型號 (詳情請咨詢銷售人員) |
防腐蝕型 | |||
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