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1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可組合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.縮短周期時間
大容量約為atm.壓力，可實現高速泵送，*適合大型L/L室
用于溶劑抽空的泵也在生產
