商鋪名稱：志昇自動化設備（深圳）有限公司
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商品詳情
志昇半導體推出的雙門雙控氮氣烤箱，專為高端集成電路封裝與晶圓工藝設計，融合工業級潔凈環境控制與精準熱管理技術，滿足半導體制造中對氧化防護、溫控一致性與生產連續性的嚴苛需求。
?雙門隔離系統?采用氣密式對開門結構，配合耐高溫硅橡膠密封條與正壓氣簾設計，實現工藝腔體與外部環境的物理隔離。操作時僅開啟單側門體即可完成晶圓取放，有效阻隔塵埃顆粒侵入（符合Class 1000潔凈標準），同時減少腔內氮氣消耗達40%，保障連續生產中環境穩定性。
?獨立雙控溫區?配備兩套完全分離的加熱回路與溫度傳感網絡，支持上下腔體差異化工藝運行。例如，上腔可設定150°C進行環氧樹脂固化，下腔同步執行200°C高溫退火，溫控精度達±0.3°C
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