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商品詳情
以氫氧化鋯 Zr (OH)?為涂覆前驅體，在多晶硅表面經涂覆成膜→干燥除水→高溫焙燒，原位轉化為致密、連續(xù)、晶相穩(wěn)定的 ZrO?保護膜，實現(xiàn)多晶硅的表面鈍化、耐蝕防護、絕緣隔離、抗高溫氧化。
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