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?IQ（Installation Qualification，安裝確認）?：確認設備已按制造商要求正確安裝，包括環境條件（溫濕度、潔凈度）、電源、氣路、文件資料（說明書、合格證、校準證書）等。
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?OQ（Operational Qualification，運行確認）?：在空載或標準負載下，測試設備在操作極限范圍內的功能是否正常（如流量穩定性、粒徑通道準確性、報警功能等）。
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?PQ（Perｆormance Qualification，性能確認）?：在實際使用條件下，通過標準粒子或已知濃度樣品驗證設備的測量準確性、重復性、重現性等關鍵性能指標??
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可以進行支持3Q認證服務的塵埃粒子計數器
表面粒子計數器如何進行3Q認證服務
“表面粒子計數器”通常指用于潔凈環境（如制藥、電子、航空航天等行業）中監測空氣中塵埃粒子數量和粒徑分布的儀器，主流類型包括?激光塵埃粒子計數器?和?凝結核粒子計數器（CPC）???。在受監管行業（如GMP環境）中，這類設備常需進行?3Q認證?（即IQ、OQ、PQ），以確保其安裝、運行和性能符合預期要求。
?什么是3Q認證？?
3Q認證是針對儀器或系統的三個確認階段，不等同于“認證”（Certification），而是?確認?（Qualification）過程，核心目的是證明設備在實際使用條件下能持續穩定運行并滿足規定要求??：
表面粒子計數器Y09-110SPD
特點：
·符合T/CAMDI 009.1-2020，ISO 21501-4-9，T/CAMDI 009.1-2020，IEST-STD-CC1246D和21 CFR-Part11標準
·對曝光機，顯影機，蝕刻、黃光偏光板貼附機臺
·可快速測量設備表面，實時顯示顆粒數值，確認機臺、零件表面潔凈度
·能降低清洗維護成本，提高設備維護效率
·可確認產品制程前后的粒子分布情況，以確定污染源
·配備多種異形探測頭，滿足客戶多樣化需求
·自凈時間短，預防保護維護（PM）周期少，效率高
特點：
Y09-110SPD型表面塵埃粒子計數器通過氣流方式將附著在表面的顆粒重新進行懸浮，通過采集懸浮顆粒，使用基于激光光學傳感器和光散射原理，獲取懸浮粒子的散射光信號，進行計數顯示。
主要用于半導體晶圓表面、光學元件、集成電路板等生產環境檢測。為半導體制程工藝提供數據,提高良品率與可靠性。
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主要技術參數 |
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尺寸 |
280mmx330mmx210mm(長X寬X高) |
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質量 |
9KG |
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輸入電壓 |
DC21V(可充式內置鋰離子電池) |
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粒徑通道 |
0.1 , 0.2, 0.3，0.5，1.0 ，5.0（μm） 0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0(um) |
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采樣周期 |
3s或者6s |
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采樣流量 |
28.3L/min 1/2”探頭0.6CFM(17L/min) |
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電池續航時間 |
5小時 |
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允許最大采樣濃度 |
10000顆/L(塵埃顆粒粒徑不小于0.1um)采樣空氣中不得含有酸堿等腐蝕性氣體 |
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顯示屏幕 |
7寸、Android工業電容觸摸屏 |
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數據存儲 |
大于1000000組 |
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數據接口 |
wifi、以太網、USB、外置藍牙打印機 |
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管理權限 |
四級權限功能 |
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光源壽命 |
半導體激光光源，壽命大于30000小時 |
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自凈時間 |
≤10min |
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使用環境 |
溫度:0-40℃;濕度:5-95%RH(無冷凝) |
原創作者：蘇州星源潔凈環境科技有限公司
