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志昇無塵氮氣烘烤箱專為半導體、光電及精密電子制造領域設計，以“無塵、無氧、高均勻”為核心，助力用戶提升產品良率與工藝可靠性。以下從六個方面進行全面介紹。

一、技術特點

• 超凈環境：結合高效過濾與正壓維持技術，箱內潔凈度可達Class 10以下，有效阻隔顆粒物污染。

• 低氧控制：采用多級氮氣置換與高精度氧濃度傳感器反饋，殘留氧濃度可穩定控制在極低水平（如≤50ppm），杜絕高溫氧化。

• 溫場均勻：優化風道結構與加熱器布局，滿負載下全區域溫度均勻度可達±1.5℃以內，確保烘烤一致性。

二、核心功能

• 程控烘烤：支持多段溫區曲線設定，滿足階梯升溫、恒溫干燥及降溫冷卻等復雜工藝。

• 氮氣節省模式：智能調節氮氣注入流量，待機時自動降低補充量，降低運行成本。

• 數據追溯：標配觸摸屏與記錄系統，實時顯示溫度、氧濃度及氮氣流量，可導出歷史數據。

三、應用領域

• 半導體前道：晶圓烘烤、光刻膠堅膜

• 光電顯示：液晶面板固化、OLED封裝烘烤

• 電子封裝：IGBT模塊銀漿固化、COB制程干燥

• 精密零部件：無氧化退火、除濕與老化測試
  

四、應用參數（典型范圍）

五、服務與保障

• 安裝調試：工程師上門安裝，提供操作培訓與工藝驗證支持。

• 售后保修：整機保修一年，關鍵加熱及控制部件保修兩年，終身維護。

• 定期校準：提供年度溫度/氧濃度校準服務，確保設備長期穩定運行。

六、使用說明

1. 開機前：檢查氮氣氣源壓力（推薦0.2～0.4MPa），確認電源與排風連接正常。

2. 參數設定：通過觸摸屏編輯烘烤程式（溫度、時間、氧濃度限值）。

3. 運行：啟動“氮氣置換”至氧濃度達標后，自動進入加熱段。運行中勿頻繁開門，以免引入氧氣與粉塵。

4. 結束：程式結束后等待溫度降至設定安全值（如80℃以下）再開門取樣。

5. 日常維護：清潔內膽及門封條，定期更換高效過濾器，校準傳感器。