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志昇半導(dǎo)體專用潔凈烘烤箱針對(duì)晶圓制造、光刻、封裝等環(huán)節(jié)的高潔凈度烘烤需求而開(kāi)發(fā)，在杜絕顆粒污染、保證溫場(chǎng)一致性方面表現(xiàn)優(yōu)異。以下從六個(gè)維度全面解析。

一、技術(shù)特點(diǎn)

• 百級(jí)潔凈環(huán)境：采用高效過(guò)濾器與正壓密封結(jié)構(gòu)，箱內(nèi)潔凈度穩(wěn)定達(dá)到Class 100（ISO 5）級(jí)別，有效避免塵埃附著于芯片表面。

• 均勻溫場(chǎng)：專業(yè)風(fēng)道設(shè)計(jì)與多點(diǎn)加熱調(diào)控，滿載時(shí)溫度均勻度≤±1.5%，消除局部過(guò)熱風(fēng)險(xiǎn)。

• 低微污染控制：內(nèi)膽選用SUS304鏡面不銹鋼，無(wú)焊渣、無(wú)析出物，配合惰性內(nèi)壁處理，減少金屬離子與有機(jī)污染物。

二、核心功能

• 程控烘烤曲線：可編輯10組以上多段溫控程式，支持斜率升溫、恒溫保溫及自然/強(qiáng)制降溫。

• 數(shù)據(jù)記錄與報(bào)警：實(shí)時(shí)顯示箱內(nèi)溫度、運(yùn)行時(shí)間，超溫、開(kāi)門、風(fēng)機(jī)異常自動(dòng)聲光報(bào)警并記錄。

• 安全保護(hù)：獨(dú)立過(guò)溫保護(hù)器、雙重超溫切斷、門鎖互鎖，確保24小時(shí)連續(xù)運(yùn)行安全。

三、應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體前道：光刻膠軟烘/堅(jiān)膜、PI固化。

• 封裝測(cè)試：引線框架烘烤、環(huán)氧樹(shù)脂固化、芯片去濕。

• 光電與MEMS：LED支架烘烤、微結(jié)構(gòu)干燥。

• 實(shí)驗(yàn)室與研發(fā)：精密元器件潔凈干燥、老化試驗(yàn)。
  

四、應(yīng)用參數(shù)（典型值）

五、服務(wù)與保障

• 安裝交付：提供現(xiàn)場(chǎng)安裝、調(diào)試及IQ/OQ驗(yàn)證支持，附帶操作手冊(cè)與培訓(xùn)。

• 保修政策：整機(jī)免費(fèi)保修12個(gè)月，加熱器與控制器保修18個(gè)月，終身提供技術(shù)支持。

• 增值服務(wù)：定期校準(zhǔn)、過(guò)濾器更換提醒及備件供應(yīng)，響應(yīng)時(shí)間≤24小時(shí)。

六、使用說(shuō)明

1. 開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備：確認(rèn)電源穩(wěn)定（220V/380V），檢查排風(fēng)口通暢，擦拭內(nèi)膽保持潔凈。

2. 設(shè)置工藝：在觸摸屏上輸入目標(biāo)溫度、時(shí)間及段數(shù)，開(kāi)啟“運(yùn)行”鍵。

3. 裝載產(chǎn)品：待箱內(nèi)溫度穩(wěn)定后，快速開(kāi)門放入晶圓盒或工裝，避免長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)門。

4. 運(yùn)行中：嚴(yán)禁中途開(kāi)門降溫；如需觀察，通過(guò)視窗或外接溫度監(jiān)測(cè)。

5. 結(jié)束取料：程式結(jié)束后等待溫度顯示降至60℃以下，再開(kāi)門取出，并關(guān)閉電源。

6. 日常保養(yǎng)：每周清潔內(nèi)壁及門封，每季度更換高效過(guò)濾器，每年校準(zhǔn)溫控系統(tǒng)。

志昇以潔凈、穩(wěn)定、智能為核心，為半導(dǎo)體制造提供可靠的高品質(zhì)烘烤解決方案。歡迎定制尺寸與參數(shù)，滿足您的特定工藝需求。