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志昇集成電路百級無塵烤箱專為IC制造與封裝環節設計，以Class 100（ISO 5）潔凈環境與高精度溫控為核心，滿足光刻膠固化、PI亞胺化、銀漿烘烤等工藝對顆粒污染與溫度一致性的嚴苛要求。

一、技術特點

• 百級無塵保障：內置ULPA高效過濾器與微正壓密封系統，潔凈度穩定達到Class 100（可選Class 10），有效攔截0.1μm以上顆粒，杜絕晶圓表面微塵導致的電路缺陷。

• 超高溫度均勻性：側面水平層流送風與多點動態補償技術，滿載溫度均勻度≤±1.0%，控溫精度±0.1℃，確保整批芯片受熱一致。

• 潔凈防靜電內膽：SUS316L鏡面不銹鋼，圓弧過渡無死角，可靠接地并可選配離子風棒，避免靜電吸附及金屬離子污染。

• 兼容氮氣工藝：可選配氮氣吹掃與氧濃度監測，滿足無氧烘烤需求。

二、核心功能

• 程控多段配方：7寸觸摸屏可存儲數百組工藝曲線，支持階梯升溫、恒溫、緩降溫及氮氣置換時序，一鍵調用。

• 數據追溯：實時記錄溫度、潔凈度（選配）曲線，數據導出或通過SECS/GEM對接MES系統。

• 安全保護：獨立超溫保護、開門加熱中斷、風機延時停機及門鎖互鎖。

三、應用領域

• 前道光刻：光刻膠軟烘（Soft Bake）、堅膜（Hard Bake）。

• 后道封裝：銀漿固化、PI固化、引線框架除濕。

• 先進封裝：晶圓級封裝（WLP）、底部填充膠固化。

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四、應用參數（典型值）

五、服務與保障

• 驗證服務：提供溫度分布9點/15點測試及潔凈度顆粒報告，協助IQ/OQ/PQ驗證。

• 保修政策：整機保修18個月（加熱器及控制器保修24個月），終身維護。

• 技術支持：24小時內響應，提供年度校準與工藝優化。

六、使用說明

1. 開機前：清潔內膽及密封圈，確認過濾器完好。

2. 設定配方：觸摸屏輸入目標溫度、時間及升溫速率。

3. 預熱：空箱升至設定溫度并穩定10分鐘。

4. 裝料：快速開門放置晶圓盒，關緊箱門。

5. 運行：啟動程式，嚴禁中途開門。

6. 取料：結束待溫度降至80℃以下，開門取出。

7. 保養：每周清潔內腔，每季度更換過濾器，每半年校準溫控儀表。

志昇集成電路百級無塵烤箱以極凈、精準、可靠為核心，護航芯片制造良率。歡迎定制尺寸及功能。