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【粵伯斯加工】提供機(jī)械加工, 小零件加工,微小零件加工, 微小零件加工價(jià)格,微小零件加工廠,電話:0769-81609791
激光微加工對(duì)生產(chǎn)具有小孔或細(xì)小溝槽結(jié)構(gòu)復(fù)雜的電子器件、微小零件加工、醫(yī)療和汽車制品有重大意義。因?yàn)檫@類產(chǎn)品孔的直徑和溝槽尺寸越來(lái)越小,而這些尺寸的公差越來(lái)越嚴(yán)格。只有激光才能滿足對(duì)微加工零件提出的從1μm到1mm的所有要求。激光加工熱作用區(qū)域小,可以準(zhǔn)確地控制加工范圍和深度,保證高的重復(fù)性,良好邊緣和廣泛的通用性。
在微系統(tǒng)制造中,人們廣泛采用硅各向異性刻蝕和LIGA(利嗄)技術(shù)加工各種微型結(jié)構(gòu)。前者適合加工硅的二維結(jié)構(gòu)和小深寬比的三維結(jié)構(gòu);后者能夠加工精密的三維結(jié)構(gòu),不僅適用于硅而且也適用于加工金屬、塑料和陶瓷。然而這種技術(shù)要求的條件比較苛刻,它需要同步輻射X射線源,而且模的制作也很復(fù)雜,因此很難普及。還有一點(diǎn)也必須指出,LIGA工藝與IC不兼容,這在一定程度上限制了它的使用。
90年代初發(fā)展起來(lái)的激光微加工工藝既能加工出較為復(fù)雜的微型結(jié)構(gòu),且所要求的條件又不那么苛刻,在實(shí)驗(yàn)室和工廠較容易實(shí)現(xiàn)