商鋪名稱：深圳市天力士機械有限公司
聯系人：李曼（）
聯系手機：
固定電話：
企業郵箱：
聯系地址：福永街道立新路金菊花園d棟
郵編：
聯系我時，請說是在五金機電網上看到的，謝謝！
商品詳情
ESC靜電卡盤
靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰亞胺薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。
