商鋪名稱:青島福潤德微電子設備有限公司
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高純材料提純設備主要滿足高純砷等新材料制造行業,對材料進行氣氛保護下的燒結、升華、還原、精餾等工藝。 主要性能指標: ?外型形式:臥式結構,水平爐管 ?工作溫度:200℃—1100℃ ?恒溫區長度:根據工藝要求 ?儀表控溫精度:千分之三高精度 ?可通工藝氣體:氮氣、氧氣、氫氣、氬氣等 ?氣體控制方式:MFC或浮子流量計控制 ?報警系統:氣體壓力異常報警、斷電報警、超溫報警、極限超溫報警 ?控制方式:程序控制或工控機+觸摸屏控制 產品特點: ?采用國內獨有的開合式設計方式; ?工藝降溫速度快; ?生產效率高; ?設備維護簡便