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商品詳情
可完全代替進口爐體，優質加熱爐絲，進口保溫材料，采用國外先進加工工藝，爐體可長期使用在高溫下，處理12英寸以下硅片，工作溫度2000℃-1286℃。 設備特點： 可保存多條工藝曲線每條曲線可設置多步 工藝曲線的自動運行控制功能 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能 自動運行中可暫停／繼續運行功能 可存儲多組PID參數供系統運行調用功能 PID參數自整定功能 工藝氣體的程序控制功能 關鍵部件全部具有高可靠性 具有良好的人機界面 系統故障自診功能 停電后斷點繼續運行功能等等 具有歷史記錄功能 具有多點溫度補償 技術指標： 可配置工藝管外徑2～8英寸 可配置工藝管數量：1～4管/臺 工作溫度范圍：400～1300℃ 恒溫區長度及精度：300～1250mm 800～1300℃±0.5℃ 單點溫度穩定性：800～1300℃±0.5℃/24h 大可控升溫速率：15℃/min 大降溫速率：5℃/min
