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商品詳情
edwards iXL 系列干泵滿足 平板顯示器 (FPD)、半導體和太陽能制造市場 領域涉及的所有排氣要求。
這些性能領先的 泵旨在最大限度地提高基板吞吐量，同時盡可能降低功耗、 占地面積和重量。此外，大修間隔期內無須 維護。
適用于嚴苛應用的大型 iXL 干泵
iXL1000：緊湊型低能量的干 泵，適用于輕負載應用。它提供快速艙室抽空和 極低的功耗。可用于輕負載應用（如晶圓加工、PVD 和 計量）的最小且最安靜的泵之一。此產品 在高度成功的 iXL120 泵的基礎上構建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通過環保模式可在空閑期間降低設備 使用率，從而降低成本并幫助保護環境。
一流的艙室 抽空時間可減少總體平均循環時間 (TACT)
僅僅 0.55kW 的功 耗有助于最大程度減少客戶擁有成本
環保模式可以在 空閑期間最多減少 92% 的功耗
最高 35oC 的水供給有助于 降低設備冷卻水要求
極小且極 輕，有助于節省寶貴的工廠空間
