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一、半導體激光芯片屬于軟脆復合晶體,傳統拋光液普遍存在三類麻煩問題:
1.表面劃痕頻發:磨料團聚、顆粒棱角尖銳,拋光后顯性劃痕、隱性微裂紋多,激光腔面損耗飆升、閾值升高;
2.亞表面損傷層過深:剛性切削產生塑性變形層、位錯層,器件發光不穩定、老化快,成品篩選良率暴跌;
3.拋光一致性差:磨料易沉淀分層,同批次晶圓粗糙度波動大,無法穩定匹配自動化量產產線。
1.圓潤超細磨料,不易產生劃痕
磨料顆粒圓潤光滑,沒有尖銳棱角,拋光時不會刮傷晶片表層,做完腔面干凈透亮,肉眼幾乎看不到劃痕,不用額外返工修復。
2.輕柔拋光,減少晶片內部損傷
和切削力強的拋光耗材不一樣,這款拋液依靠溫和化學作用慢慢打磨晶片,不會破壞晶片內部結構,器件使用更穩定耐用,大幅降低報廢率。
3.液體穩定性好,批量加工效果統一
調配配方不易沉淀分層,長時間連續生產不用反復攪拌,整批晶片拋光質感均勻,適配自動化量產設備。
4.多種激光芯片材質通用,省錢好打理
適配砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅各類激光襯底、腔面拋光;水質配方,清水就能沖洗干凈無殘留,液體可以重復循環使用,減少耗材開銷。
1.晶片劃痕次品大幅減少,省去二次拋光工序;
2.晶片內部損傷減輕,成品合格數量明顯上漲;
3.拋光后晶片表面光潔,激光產品發光效果更好、使用壽命更長;
4.產線報廢、返工變少,整體生產成本降低。
1.各類激光芯片腔面精細拋光
2.激光外延片、襯底最終精拋工序
3.VCSEL、泵浦大功率激光芯片拋光
4.光電晶片精密拋光加工
銘衍海 MYH-APS120氧化鋁超精拋液平衡拋光去除速率與表面完整性,兼顧加工效率與芯片品質,為大功率、通信級半導體激光芯片量產提供穩定成熟的拋光耗材方案,助力光電子企業擺脫缺陷困擾,降本提產。