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? ? AWS A20 Research Platform?測試系統(tǒng)基于聲波傳感原理，可通過石英傳感器頻率變化和導納-頻率特征譜來檢測芯片表面質(zhì)量和結(jié)構(gòu)變化，適用于剛性和粘彈性薄膜。具有倍頻操作模式，可給出薄膜的粘度，彈性模量，粘性模量，厚度等信息。倍頻曲線也可以用來表征薄膜的均勻性，用來評價沉積方法。測試頻率高達160MHz，靈敏度可達 0.05ng/cm2。
一、基本屬性
品牌：AWSensors
型號：AWS A20?RP
類型：AWS多參數(shù)石英晶體微天平
二、應用領(lǐng)域
1、腐蝕研究?
2、電鍍研究?
3、沉積層厚度測試?
4、鋰離子電池評價
5、表面涂層研究?
6、納米粒子吸脫附?
7、離子和溶劑的傳輸?
8、表面活性劑去污能力評價
三、技術(shù)參數(shù)
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傳感器通道數(shù) |
1-4?個 |
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頻率范圍 |
5-160MHz |
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頻率分辨率 |
0.001Hz |
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頻率穩(wěn)定性 |
±0.05ppm?，0 - 50°C范圍內(nèi) |
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相位分辨率 |
＜0.001° |
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振幅分辨率 |
0.15mV |
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傳感器晶體 |
5MHz/10MHz，直徑14mm?，AT切割，13倍頻 |
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質(zhì)量靈敏度 |
0.05ng/cm2 |
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耗散靈敏度 |
~3×10-8 |
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溫度范圍 |
20-40°C?，軟件控制，精確度為0.01°C |
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尺寸/重量 |
32×75×45cm（HWD）/25Kg |
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分析模型 |
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????????樣品池采用Q-Lock設(shè)計，該設(shè)計可控制傳感器上方的壓力以保證高頻率測試時的穩(wěn)定性與高低頻諧波的最小失真，同時操作簡單方便可避免操作誤差，無論多少次開關(guān)樣品池，測試都將是重復可靠的。同時AWS可提供整套的EQCM實驗方案，通過增加電化學樣品池與配套電化學工作站，AWS?Suite?軟件可實時同步采集兩者信號，完美實現(xiàn)電化學與QCM的同步測試。
