WD4000無圖晶圓幾何量測系統(tǒng)半導(dǎo)體晶圓形貌檢測機(jī)
產(chǎn)品價格：￥8888888.00（人民幣）
商鋪名稱：深圳市中圖儀器股份有限公司
聯(lián)系人：羅建（先生）
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聯(lián)系地址：深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1001號南山智園B1棟2樓
郵編：518071
聯(lián)系我時，請說是在五金機(jī)電網(wǎng)上看到的，謝謝！
商品詳情
| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 是否支持加工定制 | 是 | ||
| 是否進(jìn)口 | 否 | ||
| 操作方式 | 全自動 | ||
| 型號 | WD4000系列 | ||
| 晶圓尺寸 | 4" 、6" 、8" 、 12" | ||
| 晶圓載臺 | 防靜電鏤空真空吸盤載臺 | ||
| 最大移動速度 | 500mm/s | ||
| 工作臺主體 | 大理石 | ||
| 隔振臺 | 被動式隔振氣浮墊 | ||
| 外形尺寸 | 1500×1500×2000mm | ||
| 總重量 | 約1500kg | ||
| 氣源要求 | 0.6MPa; 60L/min | ||
| 溫度要求 | 20℃±1℃/小時 | ||
| 濕度要求 | 30~80％ | ||
| 品牌 | 中圖儀器 CHOTEST | ||
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