商鋪名稱：上海柳津微電子有限公司
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1.分辨率：
加速電壓15kv
工作距離＝4.0mm ……………………………1.0nm
加速電壓1kv
工作距離＝1.5mm ………………………… 2.0nm
2.倍率：
高倍率模式 ………………………………… 100×到800,000×
低倍率模式 ………………………………… 30×到2,000×
3.電子光軸：
（1）電子槍…………………………………冷陰極場放射式
（2）引出電壓（vext）……………………0到6.5kv
（3）加速電壓（vacc）……………………0.5kv到30kv（100v/階段）
（4）鏡體……………………………………3-鏡臺電子磁控式鏡體，逐級收束式
（5）物鏡孔片………………………………可移動式孔片（4個開孔可選擇/鏡體外可調式）
（6）像散修正線圖
（像散修正器）………………………電子磁控式
（7）掃描線圈………………………………2-鏡臺電磁-偏向式
4.樣品臺
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動作 |
s-4800 type i |
s-4800 type ii |
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x方向移動（x） |
0~50mm（連續） |
0~110mm（連續） |
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y方向移動（y） |
0~50mm（連續） |
0~110mm（連續） |
|
z方向移動（z） |
1.5~30.0mm（連續） |
1.5~40mm（連續） |
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傾斜（t） |
-50°~+70° |
-50°~+70° |
|
旋轉（r） |
360°（連續） |
360°（連續） |
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樣品尺寸 |
最大100mm（直徑） （氣閥鎖定型樣品置換） |
最大150mm（直徑） （氣閥鎖定型樣品置換） |
5.顯示單元
（1）顯示類型……………無閃爍計算機屏幕（全掃描速度時）
（2）顯示器………………18.1”lcd（21”彩色 crt：可選）
（1280×1024畫素）
（3）照片crt（附加）…超高分辨率類型
（有效觀察區域為：120×90mm）
（4）掃描模式……………普通掃描
縮小區域范圍
線掃描
點分析
平均濃度分析
分離/雙 倍率畫面
（5）掃描速度……………tv （640×480畫素：25/30圖框/秒）
fast（全屏幕顯示：25/30圖框/秒）
slow（全屏幕顯示：
1/0.9,4/3.3,20/16,40/32,80/64秒/圖框）
（640×480畫素顯示：
0.5/0.4,2/1.7,10/8,20/16,40/32秒/圖框）
for photograph（2560×1920畫素顯示
40/32,80/64,160/128,320/256秒/圖框）
value of（50hz）/（60hz）
tv：nisc或pal信號制式
（6）信號處理模式……………… 自動亮度調節
gamma調節
自動聚焦
自動像散調整
（7）自動數據顯示………………圖像編號，加速電壓，放大倍率
比例尺，比例尺寸數值，日期/時間和
工作距離，均可在照片上打印出來
（8）數據輸入……………………通過鍵盤可將字母，數字和一些標記標示到影像上
（9）電子的影像移動…………………±12μm（工作距離=8mm）
6.真空系統
（1）系統的類型…………………全自動氣動閥門系統
（2）最佳真空度…………………樣品室(sc):2×10e-4pa
電子槍室 :
ip-1：2×10e-7pa 或更佳
ip-2：2×10e-6pa或更佳
ip-3：5×10e-5pa或更佳
（3）真空泵………………………電子光學系統：3個ion離子泵浦
樣品室（sc）：渦輪式分子泵浦
使用者可自行提供油旋轉泵浦
（4）壓縮機………………………使用者可自行提供少油或無油型壓縮機
7.保護裝置
警告裝置……………………電源不良，冷卻水中斷，真空度不足
8.選配裝置
（1）變壓器
（2）冷卻循環水槽
（3）空氣壓縮機
（4）ups不間斷電源
（5）牛津eds，液氮型探頭，接受面積30mm2
（6）鍍金機e-104 + 鍍碳機
（7）減速模式，降低對樣品傷害，提高分辨率
（8）cd measurement測量軟件
（9）hi-mouse軟件
